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XY 气浮轴承平台
• 直线电机直接驱动
• 超高的平面度和直线度
• 理想化的高精度和平滑运动
1.持续力和峰值力可以通过使用更大的电机提高
2.基于2kg的负载测试
3.基于0.5um的编码器分辨率，可选用不通的编码器分辨率。
4.其他行程需要可以咨询我们。
| 上轴 | ||
| 规格 | RU-AUM2-S2 | |
| 性能参数 | 单位 | 串联 |
| 连续力，线圈@100℃ | N | 17.6 |
| 峰值力 | N | 88 |
| 电机常数 | N/Sqrt（w） | 4.31 |
| 连续功率 | w | 16.6 |
| 峰值功率 | W | 416 |
| 磁变周期 | Mm | 30 |
| 最大总线电压 | V | 330 |
| 最大线圈温度 | ℃ | 125 |
| 热耗散常数 | W/℃ | 0.22 |
| 连续电流 | Arms | 1.6 |
| 峰值电流 | Arms | 8 |
| 力常数 | N/ Arms | 11 |
| 反电动势常数 | Vpeak(M/S) | 9 |
| 电感 | mH | 1.5 |
| 终端电阻@25℃ | Ohms | 6.5 |
| 电器时间常数 | Ms | 0.23 |
| 机械参数 | ||
| 线圈质量 | Kg | 0.118 |
| 线圈长度 | Mm | 61 |
| 磁轨质量(每120mm) | Kg | 0.458 |
| 磁吸引力 | N(Ⅰb) | 0 |
| 下轴 | ||
| 规格 | RU-ACM1-S3C | |
| 性能参数 | 单位 | 串联 |
| 连续力，线圈@100℃ | N | 52.9 |
| 峰值力 | N | 241.9 |
| 电机常数 | N/Sqrt（w） | 12.93 |
| 连续功率 | W | 16.8 |
| 峰值功率 | W | 350.2 |
| 磁变周期 | MM | 20 |
| 最大线圈温度 | ℃ | 130 |
| 持续电流 | Arms | 2 |
| 峰值电流 | Arms | 9.6 |
| 力常数 | N/ Arms | 25.2 |
| 反电动势常数 | Vpeak(M/S) | 20.6 |
| 电感 | mH | 13.5 |
| 终端电阻@25℃ | Ohms | 3.8 |
| 磁吸引力 | N(Ⅰb) | 480 |
| 线圈质量 | Kg | 0.6 |
| 线圈长度 | Mm | 96 |
| 磁轨质量(每80mm) | Kg | 0.26 |
| x轴（上轴） | |
| 行程长度 | 250mm |
| 平面度/平行度 | 全行程±1ｕm |
| 推荐负载 | 2kg |
| 最大负载 | 5kg |
| 直选电机型号 | AUM2-ss4k-j-3.0 |
| 电机持续力 | 44n |
| 电机峰值力 | 176n |
| 直线度 | 全行程±5um |
| 重复定位精度 | ±2.5 um |
| Y轴（下轴） | |
| 行程长度 | 250mm |
| 平面度/平行度 | 全行程±1ｕm |
| 推荐负载 | 2kg |
| 最大负载 | 5kg |
| 直选电机型号 | AUM1-s30-j-3.0 |
| 电机持续力 | 53n |
| 电机峰值力 | 242n |
| 直线度 | 全行程±5um |
| 重复定位精度 | ±2.5 um |
| 正交性 | ±arc second |
| 整体平面度 | ±1ｕm |
