服务热线
董小姐:19930237990, 王先生:13718806882
随着科研及制造业不断发展，相应的加工检测设备的性能相应提高，我司在运动控制上有着丰富的制造经验，推出了一款大行程的WNQFGD系列双轴超气浮运动台，用于半导体膜厚检测，同时胶厚测量、激光加工、封装检测及其它制造业。
定制化设计
我司制造的大行程双轴气浮运动台用于半导体膜厚检测，气浮非接触式结构已经证明是应用中的理想选择。这种结构可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。
底轴Y轴用于微动调整步进，纳米级微动步距，气浮结构保证了高直线度，上轴X轴搭载检测仪器，高平面度指标保证了理想的切割直线，在200mm/s时速度稳定性0.05%，同时能够实现高动态响应和快速位置整定。各轴行程可定制。
大理石龙门结构设计，刚性好，稳定性高。大理石基座上可以增加多个Y轴，龙门架X轴行程可定制，提升工作效率。
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。
整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。
| 产品型号 | 单位 | RUQFGD-600-300 | RUQFGD-800-450 | RUQFGD-1200-650 | ||||||
| 运动轴 | 轴系 | X） | Y | x | y | X | Y | |||
| 行程 | mm | 600 | 300 | 800 | 450 | 1200 | 650 | |||
| 定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.25 | ±0.15 | ±0.45 | ±0.25 | ±0.5 | ±0.25 | ||
| 标准值 | ±0.4 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ±1 | ±0.4 | ||||
| 双重复定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.15 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.15 | ±0.3 | ±0.2 | ||
| 标准值 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.35 | ±0.25 | ||||
| 直线度 | Plus值 |
ｕm |
±0.5 | ±0.35 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ±0.5 | ||
| 标准值 | ±1 | ±0.5 | ±1 | ±0.1 | ±1.5 | ±1 | ||||
| 平行度 | Plus值 |
ｕm |
±0.5 | ±0.35 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ±0.5 | ||
| 标准值 | ±1 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1 | ||||
| 电子分辨率 | Nm | 0.3或5（选配） | ||||||||
| 最大速度 | m/s | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | |||||
| 最大加速度 | m/s | 5，（10，20）定制 | ||||||||
| 最大负载 | Kg | 20 | ||||||||
| 速度稳定性 | % | 0.05%@v=200mm/s | ||||||||
| 供气压力 | Mpa | 0.5±0.05 | ||||||||
