设计特点
采用无铁芯电机,非常适合要求高精度的需求,其不会与磁铁发生不良反应,在低速运行时也能保持平稳,在高速状态系也不会产生振动,底轴步进轴采用双直驱结构,加速度大、推力高,上轴扫描轴为单直线电机。
配置滚柱轴承摩擦式导轨,承重大、精度高、刚性好等特点,使加速度达3g,可实现速度1m/s高速运行。
非接触式光栅闭环反馈,优化考虑热膨胀的设计,这种紧凑是结构设计,在有限的空间内具有鲁棒性和准确度,获得重复定位精度±1μm,这种紧凑结构非常适合基于扫描原理的应用。Z轴采用直驱结构驱动,滚柱滑块导轨,低摩擦气缸配重。
定制化设计
基座可选大理石或铝合金材质,工作高度可调节;导轨可选滚珠摩擦导轨或非接触式气浮导轨;可安装旋转台,提供隔振系统等作为整套交钥匙工程。
产品型号 |
单位 |
RURBLM-300-300-100 |
RURBLM-500-500-150 |
RURBLM-1000-1000-200 |
运动轴 |
轴系 |
X |
Y |
Z |
x |
y |
Z |
X |
Y |
Z |
行程 |
mm |
300 |
300 |
100 |
500 |
500 |
150 |
1000 |
1000 |
200 |
定位精度 |
Plus值 |
um
|
±1 |
±0.75 |
±0.45 |
±0.25 |
±0.75 |
±4 |
±1 |
标准值 |
±3 |
±1.5 |
±0.5 |
±0.3 |
±1.5 |
±5 |
±2 |
双重复定位精度 |
Plus值 |
um
|
±0.5 |
±0.25 |
±0.2 |
±0.15 |
±0.25 |
±0.5 |
±0.25 |
标准值 |
±1 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.1 |
±0.3 |
电子分辨率 |
nm |
0.3或5(选配) |
最大速度 |
m/s |
1 |
0.1 |
1 |
0.15 |
1 |
0.2 |
最大加速度 |
m/s² |
5,(10,20,30)定制 |
最大负载 |
Kg |
15 |
正交性 |
Plus值 |
arc sec |
≤5 |
标准值 |
≤10 |