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随着半导体行业的不断发展，相应的加工检测设备的性能相应提高，我司在运动控制上有着丰富的制造经验，推出了一款大行程的WNQFGT系列三轴气浮运动台用于晶圆激光加工。同时可应用于激光加工、CCD成像、LED封装检测、晶圆检测以及其它制造等行业。
定制化设计
我司制造的大行程三轴气浮运动台用于晶圆激光加工行业，气浮非接触式结构已经证明是应用中的理想选择。这种结构可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。
底轴Y轴用于微动调整步进，气浮结构保证了高直线度。上轴X轴搭载激光用于快速扫描切割晶圆，高平面度指标保证了理想的切割直线，同时能够实现高动态响应和快速位置整定，Z轴采用低摩擦气缸配重，用于微调整，气浮结构有效的提升了垂直方向上的性能，行程可定制。
大理石龙门结构设计，刚性好，稳定性高。大理石基座上可以增加多个Y轴，龙门架X轴行程可定制，提升工作效率。
精心优化线缆弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。
整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。
| 产品型号 | 单位 | RUQFGt-400-400-150° | RUQFGt-500-500-150 | RUQFGt-600-600-150 | ||||||||||||
| 运动轴 | 轴系 | X（上） | Y（底） | z | x（上） | y（底） | z | x（上） | y（底） | z | ||||||
| 行程 | mm | 400 | 400 | 150 | 500 | 500 | 150 | 600 | 600 | 150 | ||||||
| 定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.3 | |||||||||||||
| 标准值 | ±0.5 | |||||||||||||||
| 双重复定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.1 | |||||||||||||
| 标准值 | ±0.2 | |||||||||||||||
| 直线度 | Plus值 |
ｕm |
±0.5 | |||||||||||||
| 标准值 | ±0.1 | |||||||||||||||
| 电子分辨率 | Nm | 0.3或5（选配） | ||||||||||||||
| 最大速度 | m/s | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | |||||||||
| 最大加速度 | m/s | 5，（10，20）定制 | 2 | 5，（10，20）定制 | 2 | 5，（10，20）定制 | 2 | |||||||||
| 最大负载 | Kg | 20 | ||||||||||||||
| 速度稳定性 | % | 0.05%@v=200mm/s | ||||||||||||||
| 负载 | Kg | 15 | 10 | 15 | 10 | 15 | 10 | |||||||||
