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高精度三轴龙门系统：RU220-G

  • 产品时间：2023-05-31 18:27
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简要描述：此产品通过X、Y、Z三轴移动来调整刮刀位置，由力传感器来感应刀片下降过程所受到的力大小，从而完成刮涂硅片的工作。...

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详细介绍
此产品通过X、Y、Z三轴移动来调整刮刀位置，由力传感器来感应刀片下降过程所受到的力大小，从而完成刮涂硅片的工作。

描述 规格 X轴 Y轴 Z轴
 
 
结构描述		 行程 200mm 100mm
台面尺寸 115x115mm
主体材料 铝合金
表面处理 阳极氧化发黑
台面承载 7kg 15kg
 
 
精度描述		 最大速度 25mm/sec
重复定位精度 1ｕm
绝对定位精度 3ｕm
回程间隙 2ｕm

 


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