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产品特点：
1.闭式气浮轴承结构
2.高轴向和径向刚度
3.低噪音结构设计
4.直驱零齿槽效应
5.跳动误差200nm
6.高速度稳定性
RUQFR-N系列是高性价比的气浮转台，高定位精度、高速度稳定性和200nm跳动误差，有效载荷能力和出色的径向和轴向刚度产品满足晶圆检测、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。
对RUQFR-N系列气浮转台进行了优化设计，大型空气轴承表面和创新的预压高刚度，承载能力大，可侧向放置使用。较低的轴向和径向误差运动，突出的倾角误差运动，以及由此产生的性能明显优于其它旋转空气轴承表和主轴，大大有利于要求特殊平面性能的应用。
RUQFR-N系列采用无刷直驱电机驱动，电机先进的磁路设计，产生高转矩输出和低热量产生，零齿槽效应和无扭矩纹波，使得气浮转台在低速或高速时平滑转动。
气浮转台圆光栅闭环反馈，运用国际上先进的驱动控制器，分辨率达0.01角秒，重复定位精度≤1arc sec。
圆光栅尺可选增量式或Absolute encoder。
气浮转台可定制滑环或气路接头，满足高速度稳定性或高精度惯性导航测试的应用。
由于气浮转台径向刚度大，可定制成AC轴，满足曲面微加工或测试的应用。
1.闭式气浮轴承结构
2.高轴向和径向刚度
3.低噪音结构设计
4.直驱零齿槽效应
5.跳动误差200nm
6.高速度稳定性
RUQFR-N系列是高性价比的气浮转台，高定位精度、高速度稳定性和200nm跳动误差，有效载荷能力和出色的径向和轴向刚度产品满足晶圆检测、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。
对RUQFR-N系列气浮转台进行了优化设计，大型空气轴承表面和创新的预压高刚度，承载能力大，可侧向放置使用。较低的轴向和径向误差运动，突出的倾角误差运动，以及由此产生的性能明显优于其它旋转空气轴承表和主轴，大大有利于要求特殊平面性能的应用。
RUQFR-N系列采用无刷直驱电机驱动，电机先进的磁路设计，产生高转矩输出和低热量产生，零齿槽效应和无扭矩纹波，使得气浮转台在低速或高速时平滑转动。
气浮转台圆光栅闭环反馈，运用国际上先进的驱动控制器，分辨率达0.01角秒，重复定位精度≤1arc sec。
圆光栅尺可选增量式或Absolute encoder。
气浮转台可定制滑环或气路接头，满足高速度稳定性或高精度惯性导航测试的应用。
由于气浮转台径向刚度大，可定制成AC轴，满足曲面微加工或测试的应用。
| 型号 | RUQFR-N150 | RUQFR-N200 | RUQFR-N300 | ||
| 行程 | 360° | ||||
| 台面直径 | φ70 mm | φ140 mm | φ240 mm | ||
| 驱动方式 | 直驱力矩电机 | ||||
| 定位精度 | ±2 arc sec | ||||
| 双向重复精度 | ＜ 1 arc sec | ||||
| 同步轴向跳动 | 200 nm | ||||
| 同步径向跳动 | 200 nm | ||||
| 电子分辨率 | 0.01 arc sec | ||||
| 最大速度 (空载) | 300 rpm | ||||
| 轴向最大负载 | 20 Kg | 40 Kg | 70 Kg | ||
| 型号 | A | B | C | D | E | F | G |
| RUQFR-N150 | 180 | 150 | 110 | 120 | φ70 | φ30 | φ55 |
| RUQFR-N200 | 231 | 200 | 110 | 165 | φ115 | φ50 | φ90 |
| RUQFR-N300 | 295 | 300 | 110 | 225 | φ240 | φ90 | φ19 |
