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XY轴为精密气浮运动台，Z轴为线轨平升结构，紧凑的三轴结构应用于加工，测试测量及半导体行业。由于非接触式移动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
结构优势
XY轴采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺反馈装置组成整个系统，确保免维护运行。因为运动元件间没有机械接触，随着时间的推移，不会出现磨损或性能下降，使用寿命几乎是无限的，气浮导轨不需要润滑，只需要清洁及干燥的气体，是用户应用的理想选择。
RUQFL系列直驱结构，直接移动负载，不是蜗轮蜗杆结构传动，在一个长行程的移动范围，保持尽可能短的高度，优化了Abbe误差，有助于提高整体精度性能。采用抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，为提升直线度、Pitch/Roll/Yaw指标提出了创新解决方案。
线缆管理
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作。
定制化
XY轴可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨，提升精度性能。行程可接受定制。
| 产品型号 | 单位 | RUQF100-100 | RUrbsv100-20 | |
| 行程 | mm | 100 | 20 | |
| 定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.15 | ±0.25 |
| 标准值 | ±0.2 | ±0.3 | ||
| 双重复定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.05 | ±0.2 |
| 标准值 | ±0.1 | ±0.25 | ||
| 直线度 | Plus值 |
ｕm |
±0.2 | ±3 |
| 标准值 | ±0.5 | ±0.4 | ||
| 平面度 |
ｕm |
±0.2 | / | |
| ±0.5 | / | |||
| Ritch/roll/ | Plus值 |
ARC SEC |
±1 | ±5 |
| 标准值 | ±2 | ±6 | ||
| yaw | Plus值 |
ARC SEC |
±1 | ±2.5 |
| 标准值 | ±2 | ±10 | ||
| 电子分辨率 | Nm | 0.3或5（选配） | ||
| 最大加速度 | m/s | 100 | 10 | |
| 最大负载 | Kg | 10 | ||
