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产品特点：
1.闭式气浮轴承结构
2.直驱驱动，零齿槽效应
3.高速度稳定性
4.纳米级跳动误差
5.重复定位精度±0.5角秒
RUQFR系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。RUQFR的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。
对RUQFR直驱旋转台进行了优化设计，使工作台面降到最低，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，最大减少了因与其他轴叠层安装引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴，有利于各种应用。
RUQFR采用无齿槽无刷电机和气浮轴承，较大的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计，以最小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得QFR非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。
气浮转台采用精密圆光栅反馈，先进的驱动控制对光栅信号细分，分辨率0.01角秒，轴向跳动误差＜100nm。
气浮转台可安装滑环，用于测试速度稳定性，MEMS和惯性导航等应用。
1.闭式气浮轴承结构
2.直驱驱动，零齿槽效应
3.高速度稳定性
4.纳米级跳动误差
5.重复定位精度±0.5角秒
RUQFR系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。RUQFR的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。
对RUQFR直驱旋转台进行了优化设计，使工作台面降到最低，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，最大减少了因与其他轴叠层安装引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴，有利于各种应用。
RUQFR采用无齿槽无刷电机和气浮轴承，较大的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计，以最小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得QFR非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。
气浮转台采用精密圆光栅反馈，先进的驱动控制对光栅信号细分，分辨率0.01角秒，轴向跳动误差＜100nm。
气浮转台可安装滑环，用于测试速度稳定性，MEMS和惯性导航等应用。
| 产品型号 | RUQFR-100 | RUQFR-200 | RUQFR-300 |
| 行程 | 360° | ||
| 台面直径 | 88mm | 188mm | 288mm |
| 驱动方式 | 直驱力矩电机 | ||
| 定位精度 | ±1arc sec | ||
| 双向重复精度 | ±0.5arc sec | ||
| 同步轴向跳动 | 100nm | ||
| 同步径向跳动 | 100nm | ||
| 电子分辨率 | 0.01nm | ||
| 最大速度 (空载) | 300rpm | ||
| 摆动 | 3μrad | ||
| 最大负载 | 50 Kg | ||
| 工作气压 | 0.5±0.05 MPa | ||
| 型号 | A | B | C | D | L1 | L2 | d1 | d2 | d3 | d4 |
| RUQFR100 | 120mm | 120mm | 95.5mm | Φ88mm | 82mm | 82mm | Φ40mm | Φ50mm | Φ60mm | Φ70mm |
| RUQFR200 | 220mm | 220mm | 95.5mm | Φ188mm | 182mm | 182mm | Φ50mm | Φ90mm | Φ130mm | Φ170mm |
| RUQFR300 | 320mm | 320mm | 95.5mm | Φ288mm | 282mm | 282mm | Φ60mm | Φ120mm | Φ180mm | Φ270mm |
