气浮滑台:RUQFL200系列_北京瑞钰科技有限公司

气浮滑台:RUQFL200系列

产品时间：2023-05-31 18:11

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简要描述：RUQF200系列双轴是目前国气浮直线台，我司通过多年的行业经验，搭配国际上先进的控制系统，制造出性价比高的气浮运动台，广泛应用于加工，测试测量，扫描，半导体及光子学等行业。 ...

RUQF200系列双轴是目前国气浮直线台，我司通过多年的行业经验，搭配国际上先进的控制系统，制造出性价比高的气浮运动台，广泛应用于加工，测试测量，扫描，半导体及光子学等行业。

非接触式结构
RUQFL200系列双轴气浮直线台采用非接触式气浮轴承、直线电机驱动和光栅尺闭环反馈组成，确保了在使用时免维护运行，因为运动元件间没有机械接触，随着时间的推移，不会出现磨损或性能下降，使用寿命几乎是无限的，气浮轴承不需要润滑，只需要清洁及干燥的气体，是用户应用的理想选择。
高精度指标气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮直线台的直线度、平面度，Pitch/Roll/Yaw指标得到了很大的提高，同时由于非接触式，伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃，定位精度和重复精度得到了显著提高。

线缆管理
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的线缆，以确保无故障操作。

定制化
可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨，提升精度性能，行程也可接受定制。

产品型号			单位	RUQFL200-200xy		RUQFL200-300xy		RUQFL200-400xy
运动轴			轴系	x	y	x	y	x	y
行程			mm	200	200	300	300	400	400
定位精度	Plus值		ｕm	±0.3				±0.35
	标准值			±0.5				±0.6
双重复定位精度	Plus值		ｕm	±0.05				±0.15
	标准值			±0.2				±0.3
直线度	Plus值		ｕm	±0.5				±0.75
	标准值			±0.75		±1		±1.5
平面度		Plus值	ｕm	±0.5				±0.75
		标准值		±1		±1.5		±2
Ritch/roll		Plus值	Acrsec	±1		±2		±3
		标准值		±1.5		±3		±4
Yaw		Plus值	Acrsec	±0.75		±1		±1.5
		标准值		±1		±1.5		±2
电子分辨率			Nm	0.3或5（选配）
最大加速度			m/s	1
最大速度			Mm/s	200
最大负载			Kg	20
气体压力			Mpa	0.5±0.05

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