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X/Y轴（底轴/上轴）采用气浮导轨导向，直线电机质心驱动及光栅尺闭环反馈。XY轴十字叠层组装，Y轴长度约等于X轴宽度，保证负载在极限位置时，不会出现悬空，提供精度性能，正交性可高达2arc sec.
X 轴为永磁预载气浮结构，Y轴为闭式气浮结构，特殊的结构设计，能使双轴气浮运动台获得更高的精度，X轴定位抖动100nm内，Y轴定位抖动200nm内。
Z轴采用精密交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动和光栅尺闭环反馈，因直线电机作为Z轴无抱闸功能，配置低摩擦气缸，安装负载后，有效抵消电机向上持续保持力，提升精度性能，交叉滚柱导轨作为Z轴，在定位抖动上有着良好性能。
用大理石作为基座，大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质最有保障。大理石做模态分析，结构尺寸，依据客户的要求做最终设计。
| 产品型号 | 单位 | RUQF200-200-200-50z | RUQF200-300-300-100z | |||||||
| 轴号 | x | y | z | x | y | z | ||||
| 行程 | mm | 200 | 200 | 50 | 300 | 300 | 100 | |||
| 定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.05 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.15 | ||||
| 标准值 | ±0.4 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.35 | ||||||
| 双重复定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.1 | ±0.025 | ±0.15 | ±0.075 | ||||
| 标准值 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.1 | ||||||
| 直线度 | Plus值 |
ｕm |
±0.2 | ±0.5 | ±0.75 | ±1 | ||||
| 标准值 | ±0.5 | ±1.5 | ±0.75 | ±2 | ||||||
| 平面度 |
ｕm |
±0.4 | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||||
| ±0.5 | ±1.5 | ±1 | ±1 | |||||||
| Ritch/roll/yaw | Plus值 |
ARC SEC |
±0. 5 | ±4 | ±1 | ±6 | ||||
| 标准值 | ±1 | ±6 | ±1.5 | ±7.5 | ||||||
| 电子分辨率 | Nm | 0.3或5（选配） | ||||||||
| 最大速度（空载） | m/s | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | |||||
| 最大加速度 | m/s | 5，（10，20定制） | ||||||||
| 最大负载 | Kg | 20 | 15 | 20 | 15 | |||||
| 供气压力 | Mpa | ±0.5±0.05 | ||||||||
