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应用领域适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪
激光共聚焦显微镜等领域应用技术指标固有频率：竖直：2～3HZ水平：2～3HZ（负载相关）
材质结构：上板；
SUS430冷轧铁素不锈钢/下板；
SS400钢除振方式：超柔软模压膜片型空气弹簧隔震方式；
自平衡气浮振幅：<1MM荷载能力；
100KG/M2重复定位精度：±0.05MM超级经济款，根据用户的用途提供带矩阵M6螺纹孔面包板和光面面包板。
超薄气浮隔振光学平台。井字焊接结构台面。
三点自动平衡高度传感器。设备方便移动，可供轻载型光学仪器使用。
激光共聚焦显微镜等领域应用技术指标固有频率：竖直：2～3HZ水平：2～3HZ（负载相关）
材质结构：上板；
SUS430冷轧铁素不锈钢/下板；
SS400钢除振方式：超柔软模压膜片型空气弹簧隔震方式；
自平衡气浮振幅：<1MM荷载能力；
100KG/M2重复定位精度：±0.05MM超级经济款，根据用户的用途提供带矩阵M6螺纹孔面包板和光面面包板。
超薄气浮隔振光学平台。井字焊接结构台面。
三点自动平衡高度传感器。设备方便移动，可供轻载型光学仪器使用。
| 型号 | 尺寸 | 外形尺寸（含橡胶脚垫） | 台面尺寸（lxw） | 螺纹孔边距尺寸(A) | 本体重量 |
|---|---|---|---|---|---|
| RUPD-0504-M6 | 530x430x30 | 530x430x109 | 530x4 | 1 | 46 |
| RUPD-0605-M6 | 630x530x30 | 630X530X103 | 630X5 | 1 | 57 |
| RUPD-0806-M6 | 800X600X30 | 800X600X109 | 800X6 | 37 | 77 |
| RUPD-1007-M6 | 1000X750X30 | 1000X750X109 | 1000X7 | 116 | |
| RUPD-0504-X | 530X430X30 | 530X430X109 | 530X4 |
- |
47 |
| RUPD-0605-X | 630X530X30 | 630X530X109 | 630X5 | 58 | |
| RUPD-0806-X | 800X600X30 | 800X600X109 | 800X6 | 78 | |
| RUPD-1007-X | 1000X750X30 | 1000X750X109 | 1000X750 | 118 |
