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RUQFL3D系列是目前我司制造的性能卓越，结构紧凑的三轴气浮运动台。广泛应用于精密加工，测试测量，扫描、半导体及光子学对准等行业。由于非接触式运动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
直线台设计
RUQFL3D是一款非接触式预负载气浮直线台，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择，适用于微纳制造，测试测量和光子学对准等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是微动步距，还是速度稳定性的要求，RUQFL3D都证明是最终的解决方案。
定制化设计
根据用户实际应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如单轴Z轴低摩擦气缸配重结构，双轴T形曲面加工结构和三轴间行程大小等都可以接受定制。为使阿贝误差影响到最小，各轴也可以定制化，保证精度性能。
线缆优化管理
经过多年的研究，线缆管理对精指标度有影响，我们精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。
洁净室兼容性
气浮轴承本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。
直线台设计
RUQFL3D是一款非接触式预负载气浮直线台，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择，适用于微纳制造，测试测量和光子学对准等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是微动步距，还是速度稳定性的要求，RUQFL3D都证明是最终的解决方案。
定制化设计
根据用户实际应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如单轴Z轴低摩擦气缸配重结构，双轴T形曲面加工结构和三轴间行程大小等都可以接受定制。为使阿贝误差影响到最小，各轴也可以定制化，保证精度性能。
线缆优化管理
经过多年的研究，线缆管理对精指标度有影响，我们精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。
洁净室兼容性
气浮轴承本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。
| 产品型号 | 单位 | RUQFl3D-50-50-25 | RUQFl3D-100-100-25 | RUQFl3D-150-150-25 | |||||||||
| 运动轴 | 轴系 | x | y | z | x | y | z | x | y | z | |||
| 行程 | mm | 50 | 50 | 25 | 100 | 100 | 25 | 150 | 150 | 25 | |||
| 定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.1 | ±0.15 | |||||||||
| 标准值 | ±0.2 | ||||||||||||
| 双重复定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.05 | ±0.1 | |||||||||
| 标准值 | ±0.1 | ±0.15 | |||||||||||
| 直线度 | Plus值 |
ｕm |
±0.25 | ±0.5 | |||||||||
| 标准值 | ±0.5 | ±0.75 | |||||||||||
| 平面度 | ｕm | ±0.5 | ±0.75 | ||||||||||
| 电子分辨率 | Nm | 0.3或5（选配） | |||||||||||
| 最大加速度 | m/s | 1，（5定制） | |||||||||||
| 最大速度 | Mm/s | 200 | |||||||||||
| 最大负载 | Kg | 5 | |||||||||||
| 供气压力 | Mpa | 0.5±0.05 | |||||||||||
