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RUQFHDS系列双轴平面式气浮运动台，采用有限元分析优化的气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供了最高动态性能。用于晶圆加工、检测等行业。
结构优势
平面式气浮结构设计，使XY轴运动结构共面，两轴的反馈机构在同一个水平面，相当于单轴运动，不存在因叠层引起的阿贝误差，此结构提升了动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，开发的气浮轴承补偿方法，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和非常快的位置整定。
采用无铁芯直线电机驱动，实现超平稳运动。交叉解耦控制算法保证双驱轴的运动同步。同时电机是隔热的，对于高占空比应用，电机可选水冷或气冷，尽量避免因电机发热引起的误差。
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作。
根据应用，可安装旋转台，摆角台或晶圆装卸用的夹具等。可选用激光尺闭环反馈，提升系统精度性能
| 产品型号 | 单位 | RUQFHDS-300-300 | RUQFHDS-400-400 | RUQFHDS-500-500 | |||||||
| 运动轴 | 轴系 | x | y | x | y | x | y | ||||
| 行程 | mm | 300 | 300 | 400 | 400 | 500 | 500 | ||||
| 定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||||||
| 标准值 | ±0.2 | ±0.35 | ±0.35 | ||||||||
| 双重复定位精度 | Plus值 |
ｕm |
±0.075 | ±0.1 | ±0.1 | ||||||
| 标准值 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||||||||
| 直线度 | Plus值 |
ｕm |
±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | ||||||
| 标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||||||||
| 平面度 | Plus值 |
ｕm |
±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | ||||||
| 标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||||||||
| Ritch/roll/yaw | Plus值 | ARC SEC | ±0.5 | ±1 | ±1 | ||||||
| 标准值 | ±1 | ±1.5 | |||||||||
| 正交性 | Plus值 | ARC SEC | 2 | ||||||||
| 标准值 | 5 | ||||||||||
| 电子分辨率 | Nm | 0.3或5（选配） | |||||||||
| 最大速度 | m/s | 1 | |||||||||
| 最大加速度 | m/s | 5，（10，20，30）定制 | |||||||||
| 最大负载 | Kg | 20 | |||||||||
