小型高精度真空并联六轴运动台：RUHX-V

六自由度并联机器人的结构由上下两个平台，中间6个伸缩缸以及上下各6个虎克铰(或球铰）组成6-6形机构，称为Stewart平台。其中下平台固定，下平台与上平台通过6个伸缩缸及虎克铰连接，虎克铰或球铰位于上平台与6个伸缩缸的连接处，对保证平台的正常运行和整个结构刚度起着关键作用。借助伸缩缸的伸缩来实现上平台沿X、Y、Z的平移和绕X、Y、Z轴的旋转运动。一般伸缩缸由伺服电动缸或液压缸组成(大吨位的采用液压缸的形式)如下图2所示。借助六个伸缩缸的伸缩运动，完成上平台在空间六个自由度(X，Y，Z，α，β，γ)的运动，从而可以模拟出各种空间运动姿态，因此可广泛应用到各种训练模拟器中，如飞行模拟器、汽车驾驶模拟器、地震模拟器、卫星、导弹等飞行器、娱乐设备(动感电影摇摆台)等领域中。在加工业可制成六轴联动机床、机器人等。

特点：
自工业机器人问世以来，采用串联机构的机器人占主导位置。串联机器人具有结构简单、操作空间大，因而获得广泛应用。由于串联机器人自身的限制，研究人员逐渐把研究方向转向并联机器人。和串联机器人相比，六自由度并联机器人有以下特点：
1.并联结构其末端件上同时由6根杆支撑，与串联的悬臂梁相比刚度大，结构稳定。
2.由于刚度大，并联结构较串联结构在相同的自重或体积下，有较高的承载能力。
3.串联机构末端件上的误差是各个关节误差的积累和放大，因而误差大、精度低,并联式则没有那样的误差积累和放大关系，微动精度高。
4.串联机器人的驱动电机及传动系统大都放在运动着的大小臂上，增加了系统的惯量，恶化了动力性能，而并联机器人将电机置于机座上，减小了运动负荷。
5.在位置求解上，串联机构正解容易，但反解困难。而并联机构正解困难，反解非常容易

产品运行视频
https://pan.baidu.com/s/1J2knWsWnXDYWcaJn6hIgQw?pwd=xpuw

比较项目	并联机器人	串联机器人
工作空间	小	大
刚度	高	低
奇异性问题	多	少
负载能力	高	低
惯量	小	大
结构	复杂	简单
位置精度	误差平均化	误差积累
速度	较高	较低
加速度	较高	较低
承载力	多杆积累	单杆限制
位置反解	容易	困难
位置正解	困难	容易
控制	复杂	简单

型号	RUHX-V-130-120	RUHX-V-150-140	RUHX-V-180-155	RUHX-V-200-165	RUHX-V-240-180
运动轴	X，Y，Z，θ_X，θ_Y，θ_Z
X、Y最大行程	±20mm	±20mm	±20mm	±25mm	±25mm
Z最大行程	±6.5mm	±10mm	±10mm	±13mm	±13mm
θ_X、θ_Y 行程（俯仰）	±8°	±8°	±8°	±10°	±8°
θ_Z行程	±20°	±20°	±20°	±25°	±20°
电缸分辨率	0.25μm	0.25μm	0.25μm	0.25μm	0.25μm
X、Y最小移动量	0.5μm	0.5μm	0.5μm	0.5μm	0.5μm
Z最小移动量	0.5μm	0.5μm	0.5μm	0.5μm	0.5μm
θ_X、θ_Y最小移动量	0.001°	0.001°	0.001°	0.001°	0.001°
θ_Z最小位移动量	0.001°	0.001°	0.001°	0.001°	0.001°
X、Y回程	2μm	2μm	2μm	2μm	2μm
Z回程	1μm	1μm	1μm	1μm	1μm
θ_X、θ_Y回程	0.001°	0.001°	0.001°	0.001°	0.001°
θ_Z回程	0.002°	0.002°	0.002°	0.002°	0.002°
X、Y双向重复精度	±0.5μm	±0.5μm	±0.5μm	±0.5μm	±0.5μm
Z双向重复精度	±0.2μm	±0.2μm	±0.2μm	±0.2μm	±0.2μm
θ_X、θ_Y双向重复精度	±0.0005°	±0.0005°	±0.0005°	±0.0005°	±0.0005°
θ_Z双向重复精度	±0.0007°	±0.0007°	±0.0007°	±0.0007°	±0.0007°
X、Y和Z向上的最大速度	10mm/sec	10mm/sec	10mm/sec	10mm/sec	10mm/sec
θ_X、θ_Y、θ_Z向上的最大速度	5°/sec	5°/sec	5°/sec	5°/sec	5°/sec
负载能力（底板为水平方向）	8kg	8kg	8kg	18kg	25kg
负载能力（任意方向）	3kg	3kg	3kg	6kg	8kg
断电保持力（底板为水平方向）	30N	30N	30N	45N	60N
断电保持力（任意方向）	10N	10N	10N	15N	20N
电机类型	真空步进电机+多圈绝对值编码器
驱动类型	EtherCAT总线通讯
工作温度范围	-40 到 105℃
真空度(Pa)	1*10-5
材料	不锈钢/铝合金
质量	6.0kg/2.0kg	6.5kg/2.2kg	8.0kg/2.5kg	16.0kg/5.5kg	20.0kg/6.8kg

RUHX-V-130-120

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RUHX-V-150-140

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RUHX-V-180-155
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RUHX-V-200-165
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RUHX-V-240-180

小型高精度真空并联六轴运动台：RUHX-V

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