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采用精密线性滚珠导轨，分厘卡驱动，运动舒适，精度高，弹簧复位，消除空回。XY 轴驱动分厘卡安装在一个水平面上，并且分为左右手型（左手型在型号中加L），操作十分方便。Z 轴用分厘卡。
| 型号 | 台面尺寸 | 传动方向 | 行程 | 荷重/负载 | 驱动方式 | 最小刻度 | 本体重量 | 材质 | 表面处理 |
| RUW5ML | 74×60.5(mm) | X.Y.Z.θX.θZ轴五个方向 | 13mm/±5 | 29.4N(3kgf) | 分厘卡 | 50μm | 1.2kg | 铝合金 | 黑色阳极氧化 |
