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相位台:RUUVW350RS

  • 产品时间:2023-02-21 15:39
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简要描述:相位台三轴在同一平面内驱动,相比传统的XYθ,结构更紧凑,承载能力更高,安装空间更小,三轴同动与四点支撑相结合,受力均匀。 在机器视觉、激光位移,精密位移调整、自动检测设备、...

详细介绍
产品特征
 1.采用了划时代性模组结构的超薄型平台
 在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承,实现了超薄型结构。
 2.高刚性、高精度
 高品质精磨级滚珠丝杠驱动,小导程,相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。
 3.超薄型、轻量化、中空结构
 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
 4.润滑系统
 在各种运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度。
 5.产品整体机构薄且轻,内部结构紧凑,可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。
 6.材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命
 产品应用:
1.面板贴膜
 2.3D网版印刷
 3.玻璃侧角及磨边设备
 4.Wafe对位设备
 5.P.C.D曝光设备
 6.软体裁切设备
  7.半导体设备

型号 RUUVW350RS
结构
描述
台面尺寸(mm) 350X350
底板尺寸(mm) 450X450
高度(mm) 90
行程(mm) ±5
角度(θ) ±2°
主体材料 铝合金
表面处理 阳极氧化发黑
电机 42步进电机
精度
描述
螺杆规格 φ10-P2
水平承载(Kg) 100
重复定位精度(μm) ±2
平行度(μm) 30
 

 


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