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相位台:RUUVW350CC

  • 产品时间:2023-02-21 15:40
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简要描述:在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承,实现了超薄型结构。高刚性、高精度 高品质精磨级滚珠丝杠驱动,...

详细介绍
                                                                 产品特征:
                                                                1.采用了划时代性模组结构的超薄型平台
                                                                在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承,实现了超薄型结构。
                                                                2.高刚性、高精度
                                                                高品质精磨级滚珠丝杠驱动,小导程,相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。
                                                                3.超薄型、轻量化、中空结构 
                                                                中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
                                                                4.润滑系统
                                                                在各种运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度。
                                                                5.产品整体机构薄且轻,内部结构紧凑,可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。
                                                                6.材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命
                 
                                                                产品应用:

                                                              1.面板贴膜
                                                              2.3D网版印刷
                                                              3.玻璃侧角及磨边设备

                                                              4.Wafe对位设备
                                                              5.P.C.D曝光设备
                                                              6.软体裁切设备
                                                              7.半导体设备


型号

RUUVW350CC

结构
描述

台面尺寸(mm)

350X350

底板尺寸(mm)

450X450

高度(mm)

90

 行程(mm)

±5

角度(θ)

±2°

主体材料

铝合金

表面处理

阳极氧化发黑

电机

42步进电机

精度
描述

螺杆规格

φ8-P1

水平承载(Kg)

80

重复定位精度(μm)

±2

平行度(μm)

30

 



 


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