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| 主要参数/型号 | RU167LMS-100 | RU167LMS-200 | RU167LMS-300 |
| 电机型号 | ILM2-L12S-TP-3.0 | ||
| 持续推力（N） | 18 | ||
| 峰值推力（N） | 35 | ||
| 持续电流（Arms） | 5 | ||
| 峰值电流（Arms） | 10.5 | ||
| 负载（kg） | 10 | ||
| 有效行程（mm） | 100 | 200 | 300 |
| 双向重复定位精度（μm） | ±0.5 | ||
| 双向绝对定位精度（μm） | ±1 | ||
| 允许俯仰力矩（Nm） | 10 | ||
| 安装面和底面平面度（μm） | 10 | ||
| 速度（mm/s） | ≤300 | ||
| 加速度（G） | 2 | ||
| 停顿时间（S） | 0.001 | ||
| 分辨率 | 模拟量细分 | ||
| 驱动器 | 高创 | ||
| 编码器 | 雷尼绍光栅 | ||
| 线缆长度（m） | 3 | ||
| 上位机与驱动器控制方式 | 脉冲/总线/485可选 | ||
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