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手动高精度三轴耦合台:RU3E

  • 产品时间:2023-02-27 17:34
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简要描述:多种组维方式 系统线性灵敏度优于0.5μm,角度灵敏度优于23.4″ 高稳定性,高性价比 ...

详细介绍
多种组维方式,系统线性灵敏度优于0.5μm,角度灵敏度优于23.4″,高稳定性,高性价比。

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RU3EL RUB10-60LN RUB30-60LK RUB10-60RN
RU3ER RUB10-60RN RUB30-60RK RUB10-60LN
行程 粗动:±6.5mm  微动;±0.3mm
分辨率 粗动:10μM   微动:0.5μM
光轴高 109mm

 


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