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产品特征：
1.采用了划时代性模组结构的超薄型平台
在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承，实现了超薄型结构。
2.高刚性、高精度
高品质精磨级滚珠丝杠驱动，小导程，相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。
3.超薄型、轻量化、中空结构
中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
4.润滑系统
在各种运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度。
5.产品整体机构薄且轻，内部结构紧凑，可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。
6.材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命
产品应用:
1.面板贴膜
2.3D网版印刷
3.玻璃侧角及磨边设备
4.Wafe对位设备
5.P.C.D曝光设备
6.软体裁切设备
7.半导体设备
1.采用了划时代性模组结构的超薄型平台
在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承，实现了超薄型结构。
2.高刚性、高精度
高品质精磨级滚珠丝杠驱动，小导程，相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。
3.超薄型、轻量化、中空结构
中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
4.润滑系统
在各种运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度。
5.产品整体机构薄且轻，内部结构紧凑，可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。
6.材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命
产品应用:
1.面板贴膜
2.3D网版印刷
3.玻璃侧角及磨边设备
4.Wafe对位设备
5.P.C.D曝光设备
6.软体裁切设备
7.半导体设备
| 型号 | RUUVW200HC | |
|
结构 描述 |
台面尺寸（mm） | 200X200 |
| 底板尺寸（mm） | 350X350 | |
| 高度（mm） | 60 | |
| 行程（mm） | ±8 | |
| 角度（θ） | ±3° | |
| 主体材料 | 铝合金 | |
| 表面处理 | 阳极氧化发黑 | |
| 电机 | 42步进电机 | |
|
精度 描述 |
螺杆规格 | φ8-P1 |
| 水平承载（Kg） | 100 | |
| 重复定位精度（μm） | ±2 | |
| 平行度（μm） | 25 | |
