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超高真空高低温耐辐射位移台具有很高的刚性和精度，使用特殊处理的交叉滚子导轨，非常适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、超高真空电机、超高真空兼容的材料、采用防侧隙正齿轮传动装置，可选配雷尼绍的超高真空光栅尺或者超高真空限位开关。以及特殊传动装置-间隙可忽略不计从而达到平滑精密运动。可以直接搭建XYZ
可根据要求定制；
适用于真空度:1x10-10mbar，工作环境温度:-65/-196℃～+175℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
标准品真空度10-3pa到10-4pa 温度范围常温
真空系列位移台项目开发的样机已经实现在各个领域的使用，并形成如下产品优势：
1. 真空、高低温(LOX 10-7pa, -196°C~200°C)环境。
2. 工作环境温度-196°C至+200°C, 线圈温度可达300°C,适用真空度 l.OXlOTa,耐辐射剂量106Gy 可提供低压直流和高压交流选择，可选配内置温度传感器。
3. 标准设计28、35、42、57、86框号两相四线制混合式真空步进电机
4. 标准化设计生产100~750W真空伺服电机系列
5. 基于建立的零部件材料系列体系，可以实现不同温度范围、不同规格尺寸的产品定制。
6. 可进行耐辐射、耐盐雾、抗冲击、抗霉菌功能拓展,精准匹配客户需求。
7. 高洁净度的使用环境也是可以选用的。特别的材料选择，完善的后端处理工艺使其在高洁净度的环境中使用。
可根据要求定制；
适用于真空度:1x10-10mbar，工作环境温度:-65/-196℃～+175℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
标准品真空度10-3pa到10-4pa 温度范围常温
真空系列位移台项目开发的样机已经实现在各个领域的使用，并形成如下产品优势：
1. 真空、高低温(LOX 10-7pa, -196°C~200°C)环境。
2. 工作环境温度-196°C至+200°C, 线圈温度可达300°C,适用真空度 l.OXlOTa,耐辐射剂量106Gy 可提供低压直流和高压交流选择，可选配内置温度传感器。
3. 标准设计28、35、42、57、86框号两相四线制混合式真空步进电机
4. 标准化设计生产100~750W真空伺服电机系列
5. 基于建立的零部件材料系列体系，可以实现不同温度范围、不同规格尺寸的产品定制。
6. 可进行耐辐射、耐盐雾、抗冲击、抗霉菌功能拓展,精准匹配客户需求。
7. 高洁净度的使用环境也是可以选用的。特别的材料选择，完善的后端处理工艺使其在高洁净度的环境中使用。
