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六维协同,微米对位|瑞钰科技并联六轴移动台

时间:2026-10-21 23:34 点击次数:
 
在光子耦合、晶圆检测、同步辐射实验、精密光学装调等前沿场景中,仅靠 XYZ 三轴平移,已经很难满足复杂空间姿态的对位需求。传统堆叠式串联多维台,容易产生误差逐级放大、系统刚性偏弱、整体高度偏大、动态响应慢等痛点。瑞钰科技并联六轴移动台(Hexapod 六自由度平台),基于 Stewart 并联机构自研打造,一台设备同时实现 X/Y/Z 平移、俯仰、滚转、偏摆六自由度联动,为高端科研与半导体精密定位,提供一体化的国产六轴运动解决方案。
平台主体选用高强度铝合金与不锈钢材质,经过精密磨削与稳定化时效处理;六组驱动支链同步协同承载,载荷由六个支杆均匀分担,相比串联堆叠结构,整机刚性更高、运动惯量更小,有效规避串联系统的误差累积效应,定位重复精度优异,长时间连续运行下漂移控制稳定,适合需要亚微米级姿态校准的严苛工况。
配套瑞钰自研多轴运动控制器与运动算法,支持六轴同步轨迹规划、定点对位、自动扫描、姿态保持,支持自定义旋转中心,可围绕样品中心做环绕调姿,极大简化光纤阵列、光芯片、光学镜片的耦合对准流程。驱动单元可选闭环编码器方案,同时集成软限位、原点回零、故障保护功能,兼顾定位性能与设备安全。
产品支持模块化定制:可按需调整行程、负载等级、精度档位,还可开发真空兼容版本,采用低放气材料与专用润滑方案,适配真空腔体、原位表征等特殊实验环境。台面预留标准光学安装孔,兼容各类样品夹具、载片台、光学镜座,能够直接接入光学平台、显微镜系统、探针台、光束线站,也支持 OEM 二次集成对接上位机,提供 SDK 与 API,方便用户嵌入自动化测试系统。
广泛覆盖高端应用领域:科研端适配同步辐射光束线、量子光学实验、X 射线表征、原位样品姿态调节、天文光学元件装调;光电与半导体领域用于硅光芯片耦合、晶圆缺陷检测、MEMS 器件封装、探针测试、光通信阵列对准;工业测试场景可用于传感器姿态标定、微装配、精密模拟姿态仿真等场景。
作为国产精密位移厂商,瑞钰科技打通机械结构、电控、控制软件全链路自研,相比进口同类六轴平台,交付周期更短,技术团队可直接参与方案调试、运动参数标定,售后响应高效,大幅降低高端六自由度定位系统的采购与集成门槛。
一平台掌控六维姿态,分毫之间精准对齐。瑞钰科技并联六轴移动台,以高刚性并联架构、协同可控的六自由度运动能力,助力前沿光电、半导体与大科学装置实验实现稳定、高效的精密姿态定位。

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